导电陶瓷加热元件

导电陶瓷加热元件是海古德面向先进制程的新一代加热方案。通过在 AlN、Si₃N₄、Al₂O₃ 基体中引入导电相，使陶瓷本体兼具结构、绝缘与发热功能，相较传统金属丝/印刷电极加热方式，具有升温速度快、温度均匀、寿命长、耐腐蚀等显著优势，适用于半导体、显示面板等对控温精度与可靠性要求严苛的场景。