AIN 精密陶瓷零部件
面向半导体晶圆制造、核心制程设备、器件封装及后端加工全流程，海古德以高稳定、耐高温、耐等离子体腐蚀、高效散热与高精密的先进陶瓷材料体系，提供适配成熟制程与先进制程的核心零部件解决方案，在性能与成本之间取得平衡，助力半导体产业向精密化、高效化与长寿命方向升级。
静电卡盘 / 陶瓷加热器
在陶瓷基体内部预置金属电极并通过一体化共烧结，可制成静电卡盘（Electrostatic Chuck, ESC）与陶瓷加热器，实现吸附、控温功能的高度集成。
依托 AlN/Al₂O₃ 多材料工艺平台，海古德形成覆盖库仑型与约翰逊–拉别克型 ESC、单区/多区陶瓷加热器的产品系列，可适配等离子体环境与电子束等严苛工况，从开发、试样阶段即可交付符合用途要求的定制化产品。
通过陶瓷内部预置金属电极并一体化熔结成型，我们开发出系列化静电卡盘（ELECTROSTATIC CHUCKS）与陶瓷加热器，可稳定适配等离子体环境、电子线应用等严苛工况，从开发、试做阶段即可交付符合客户用途的定制化产品。
产品参数
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 尺寸（L×W） | 按图加工 |
| 厚度 | 按需定制 |
| 介电常数 | 场景适配 |
| 体密度 | 3.7-3.9 g/cm³ |
| 表面粗糙度 | 按图加工 |
产品详情
- 材料：AlN（氮化铝）
- 功能：高导热绝缘 / 一体化控温
- 类型：内嵌电极精密功能陶瓷 颜
- 颜色：灰色
- 定制能力：全尺寸 / 精密按图加工（尺寸、厚度、介电常数按场景适配，体密度 3.7–3.9 g/cm³）
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