应用领域

• 半导体制造
• 商业航天
• 移动通信与光通讯
• 新能源汽车
• 光伏储能
• 功率模块封装
• 显示面板制造

显示面板制造

       在 LCD/OLED/MiniLED 面板制造中，大尺寸玻璃基板需实现无应力夹持，同时保证微米级平坦度、高对位精度与工艺稳定性，并在真空、等离子体、高温等严苛工况下长期可靠工作——任何局部应力或温度不均都会直接影响成膜均匀性与面板良率。

        海古德陶瓷基静电卡盘通过内嵌电极一体化烧结实现稳定吸附与高精度面内温控，兼具等离子体耐蚀与超低颗粒污染，已广泛应用于薄膜沉积（PVD/CVD）、光刻、刻蚀、清洗及表面处理等关键制程设备。

    
        针对面板制程中对快速、均匀控温的需求，导电陶瓷加热元件以陶瓷本体自发热替代传统金属丝加热，升温更快、温度更均匀、寿命更长，可适配真空与高温工况，为成膜与热处理工序提供稳定可靠的加热方案。