Al₂O₃ 陶瓷静电卡盘
Al₂O₃ 陶瓷静电卡盘凭借无应力夹持、超洁净与真空兼容特性，是半导体、面板与光学精密制造中，薄片工件在真空 / 等离子体 / 高温环境下实现稳定、无损、高精度夹持的优选方案。海古德具备从产品开发、试样试制到批量量产的全流程工程能力，可快速响应并精准满足客户定制化需求。
静电卡盘
采用多层共烧（层压）技术内嵌加热电极，实现极高的面内温度均一性。
选用高纯 Al₂O₃ 原料显著降低金属离子污染。
在卤素气体等离子体环境下展现优异的耐蚀性与长服役耐久性。
通过陶瓷内部预置金属电极并一体化熔结成型，我们开发出系列化静电卡盘（ELECTROSTATIC CHUCKS）与陶瓷加热器，可稳定适配等离子体环境、电子线应用等严苛工况，从开发、试做阶段即可交付符合客户用途的定制化产品。
产品参数
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 尺寸（L×W） | 按图加工 |
| 厚度 | 按需定制 |
| 介电常数 | 场景适配 |
| 体密度 | 3.7-3.9 g/cm³ |
| 表面粗糙度 | 按图加工 |
产品详情
- 材料：Al₂O₃（高纯氧化铝）
- 功能：高电绝缘 / 加热控温 / 等离子体耐蚀
- 类型：内嵌电极精密功能陶瓷
- 颜色：白色
- 定制能力：全尺寸 / 精密按图加工（体密度 3.7–3.9 g/cm³，介电常数按场景适配）
（此内容由www.haigoodtech.com.cn提供）
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